| 信息索引号 | 014035714/2026-00805 | 生成日期 | 2026-06-08 | 公开日期 | 2026-06-08 |
| 公开时限 | 长期公开 | 公开形式 | 网站 | ||
| 公开方式 | 主动公开 | 公开范围 | 面向社会,面向企业法人,面向社会团体 | ||
| 有效期 | 长期 | 公开程序 | 部门内部审核后公开 | ||
| 主题(一级) | 科技、教育 | 体裁 | 其他 | ||
| 关键词 | 规划,科学,技术 | ||||
| 文件下载 | |||||
| 发布机构 | 无锡市惠山区科技局 | ||||
| 内容概述 | 科技创新 |
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最近,位于惠山经开区的无锡悦兴微半导体有限公司有点忙,一边是Pre-A轮融资即将完成收尾,一边是自主研发的BFI(明场缺陷检测)特种光源交付试用,进入“破晓前夕”。
2024年,西安交通大学物理学院耶红刚教授团队携半导体特种光源项目在无锡“太湖杯”国际精英创新创业大赛(西安赛区)脱颖而出,惠山区迅速建立联系,研究项目引进事宜,会同市产研院给予“拨投结合”资金支持,市、区两级各拨付600万元,为企业初创起步注入“及时雨”。
“这笔资金的到来,不仅缓解了早期高强度研发的资金压力,更如一张信任名片,向资本市场释放了官方认可的信号。”悦兴微创始人CPO陈总表示,在这笔资金的加持下,团队潜心攻坚一整年,成功研发出定制化激光驱动灯箱系统。
这只是第一步。悦兴微自主研发的核心产品,是一套由等离子体氙灯和精密灯箱系统组成的解决方案,主要应用于半导体晶圆缺陷检测。
在半导体制造的精密世界里,缺陷检测设备如同产线的“眼睛”,决定着芯片良率的高低。而其中的明场缺陷检测设备(BFI)市场,长期被国外企业垄断,一颗进口光源售价高昂,每两周就要更换一次。
这样一颗氙灯光源,看似微小,却是半导体检测设备中最核心、最易被“卡”的环节。锚定缺陷检测设备,悦兴微集结西交大顶尖科研力量与行业资深人才,组建起一支数十人的硬核团队,全力研发激光驱动等离子体光源。
研发之路布满荆棘,团队一次次推翻重来、一次次优化迭代,终于突破多项核心技术壁垒。现在,产品已交付部分晶圆厂及设备厂家试用,一代产品被客户评价为“最令人满意的替代方案”,初步实现小批量供应。
当前,悦兴微正处于发展的关键阶段——Pre-A轮融资已进入收尾阶段,这标志着公司将从“技术验证阶段”正式迈入“产品交付阶段”,预计于今年年中完成2500万元的资金募集,将主要用于下一代光源产品的研发工作,并深化与西安交通大学的产学研合作。
在“破晓前夕”的悦兴微,每个日常都像在“抢跑”:紧锣密鼓地推进融资对接、精心规划迭代产品布局、常态化跟踪产品测试数据、第一时间响应晶圆厂与设备商反馈……争分夺秒的节奏背后,是一场科研与产业的“双向奔赴”。
从2024年12月注册成立,到次年6月团队入驻,再到如今产品送样验证——这家企业仅用不到一年半时间,就这样走出了一条从实验室技术到产业化落地、从初创攻坚到资本加持的“加速度”曲线。










